第2章

震惊全场，5nm理论------------------------------------------"什么？！""基于DUV光刻机的5nm制程工艺？他疯了吧！""现在全世界最先进的DUV光刻机也只能做到7nm，而且良率极低。他竟然说能用DUV做5nm？简直是天方夜谭！"，评委们脸上都露出了难以置信的表情。，也抬起了头，浑浊的眼睛里闪过一丝**。，今年已经62岁了。他一生都在为国产芯片奋斗，亲眼见证了无数次失败。这次星联合众国的制裁，对他的打击最大，他已经好几天没合眼了。："林辰，你知道你在说什么吗？5nm制程工艺，现在只有积电半导体和星洲电子能做到，而且他们用的都是EUV光刻机。你说能用DUV做5nm，你要是真能做到，我把这个答辩台吃下去！""好啊。"林辰淡淡一笑，"如果我能证明我的理论是正确的，您不用吃答辩台，只需要给我一个优秀答辩成绩就行。"，林辰走到电脑前，拔掉了原来的U盘，插上了自己随身携带的U盘。，很快，一个全新的PPT出现在了大屏幕上。：《一种基于多重曝光技术的DUV光刻机5nm制程工艺方案》。，整个答辩现场鸦雀无声。、光刻工艺、刻蚀精度、薄膜沉积等各个方面，详细阐述了如何用DUV光刻机实现5nm制程。"沉浸式四重曝光技术"、"自对准多重图形技术"、"高选择性刻蚀工艺"，每一个都颠覆了现有的技术认知。，数据详实，公式推导严谨，没有任何漏洞。
评委们从最初的不屑，到惊讶，再到震惊，最后一个个都站了起来，眼睛死死地盯着大屏幕，生怕错过任何一个细节。
张敬华教授的身体微微颤抖着，他从事芯片研究四十多年，从来没有见过如此完美的技术方案。
这个方案如果真的能实现，那将彻底改变华夏芯片产业的命运！
"……以上就是我的全部理论。"林辰关掉PPT，转过身，看着目瞪口呆的评委们，"各位老师，有什么问题吗？"
现场一片寂静，没有人说话。
过了足足五分钟，张敬华教授才深吸一口气，声音沙哑地问道："林辰，你的这个方案，有实验数据支持吗？"
"有。"林辰点了点头，"我已经在实验室里做了模拟实验，良率可以达到90%以上。"
"什么？！"
又是一阵惊呼。
现在积电半导体用EUV光刻机做5nm，良率也才80%左右。林辰竟然说用DUV能做到90%的良率？
这已经不是颠覆了，这是神迹！
张敬华教授猛地站起来，走到林辰面前，紧紧地抓住他的手，激动地说道："林辰，跟我来实验室！现在就去！我要亲眼看到你的实验数据！"
(第二章完)